光学镀膜

  • ● IAD离子辅助沉积
  • ● 光学膜厚监控
  • ● RF离子源
  • ● 全自动成膜控制
  • ● e型双电子枪
  • ● 6片旋转式水晶监控

技术指标

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增透膜

● 目标波长范围内高透过率    ● 低反射    ● 从DUV到红外波段    ● PPM量级的低吸收率    ● 高损伤阈值    ● 可定制


薄膜类型

波长范围 (nm)

入射角 (°)

反射率 (%)

UV单波长增透膜

266

0-15°

R < 0.2%

UV单波长增透膜

355

0-10°

R < 0.2%

UV增透膜

247-250

0-15°

R < 0.2%

宽带增透膜

380-480

0-30°

R < 0.5%

双波长增透膜

355+532

0-15°

R < 0.5%

双波长增透膜

532+1064

R < 0.2%

宽带增透膜

770-1070

0-30°

R < 0.5%

宽带增透膜

1530-1570

0-20°

R < 0.2%

宽带增透膜

1700-2500

0-30°

R < 0.5%

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高反射膜

● 目标波长范围及入射角内高反射率    ● 可选金属反射膜或介质反射膜    ● 高损伤阈值    ● 可定制


薄膜类型

波长范围 (nm)

入射角 (°)

反射率 (%)

单波长反射膜

355

45°

> 99.5%

单波长反射膜

266

45°

> 99.5%

双波长反射膜

343/532

40°

> 60%/99%

双波长反射膜

633/1064

45°

> 80%/99.5%

带宽反射膜

440-540

> 99.5%

带宽反射膜

630-690

40°-50°

> 99%

带宽反射膜

1020-1085

43-47°

> 99.8%

带宽反射膜

1450-1550

44-46°

> 99.5%

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分光膜

● 高光谱精度    ● 可选择金属分光膜或介质分光膜    ● 可定制


薄膜类型

波长范围 (nm)

入射角 (°)

技术指标

金属-介质分色膜

850±5

T:R=1:1

单色分光膜

1064

T/R=40/60; T/R=50/50

T/R=30/70

宽带分光膜

500-700

T/R=50/50

平板偏振分光膜

1064

56°

Tp > 95%; Rs > 99%

消光比Tp/Ts>100:1

棱镜偏振分光膜

532

45°

Tp > 98%; Rs > 99.5%

消光比Tp/Ts>1000:1

平板消偏振分光膜

532

45°

T/R=48:48; 分光比精度±5%

剩余偏振度|Rs-Rp| < 5%

棱镜消偏振分光膜

700-1000

45°

T/R=45:45; 分光比精度±5%

剩余偏振度|Rs-Rp| < 5%; 吸收率 < 12%

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干涉滤光膜

 高通带透光率    ● 高OD度    ● 高稳定性    ● 可提供WDM    ● 可定制


薄膜类型

技术指标

截止滤光膜

通带透过率 T > 90%

截止范围可根据客户要求

截止深度OD3

带通滤光膜

中心波长(CWL): 488nm/905nm/1064nm/1545nm/1575nm

半峰值带宽(FWHM): 10nm-200nm

峰值透过率 > 75%; 截止深度OD3; 截止范围可根据客户要求

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主要应用

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